檢測系統的測試誤差及對儀器設備的要求(1)專題講座
徐勵華（西安微電機研究所）
控制電機中的信號電機是精密檢測和自動控制系統的傳感元件．其本身的精度要求較高，為了滿足高精度的要求，對檢測它的儀器、設備、線路、工裝以至測試方法、安裝調試均有嚴格要求。但也有些產品和用戶對產品精度要求并不太高，如果都應用高、精、尖的設備來檢測是很不經濟的。為此，對不同要求的電機應對其檢測系統的各種誤差進行詳細分析和計算，正確合理地選擇儀器設備工裝線路和采取相應的措施。
本文按各類電機（感應同步器，自整角機、旋轉變壓器，測速發電機等）分別進行闡述。
1 感應同步器檢測系統測試誤差分析
感應同步器在信號電機中是精度極高的位置傳感元件，它將線（角）位移變成電信號，前者為直線式感應同步器，后者為旋轉式感應同步器，其本身的精度足以與計量基準相比擬，要檢測這樣高精度的產品，國內外有很多種方法，工廠批量大的要求自動化裎度高，可采用對比法。計量部門要求檢測準確度高，對直線式采用激光比長儀進行比較，對旋轉式采用全組合法來消除儀器本身的誤差�，F從滿足國標要求出發．對其檢測系統的各部分誤差進行分析計算。
旋轉式、直線式感應同步器的基本參數和技術要求及其試驗方法目前沒有國標而有部標jb3586-3587-8/1、jb／gq0565-84和blgq1l39-89，其中正確度用峰值表示，為了統一起見，檢浸系統的誤差分析也均用峰值計算。旋轉式和直線式感應同步器的品種規格很多�，F以其中正確度****及適中的產品為例來說明，列于表1，表2及表3。
感應同步器的正確度測量主要用細分誤差和零位誤差進行測試，測試線路如圖1圖2所示。
從圖1可看出，旋轉式感應用步器的檢測系統主要由信號發生器（電源）、電源隔離變壓器、高精度轉臺、感應分壓箱、相敏電壓表（即指零儀）和調試工裝組成。
從圖2可看出，直線式感應同步器的檢測系統除了高精度轉臺用測量儀替代及工裝線路不同外，其它儀器均相同，也可用相當精度的數顯表代替信號發生囂、感應分壓箱、匹配變壓器和相敏電壓表．使檢測系統更加簡單方便。
檢測系統的測試誤差在計量檢測中稱為測量準確度它由檢測儀器設備的檢定誤差、人工誤差、安裝和環境誤差組成，由于這些誤差是相互獨立不相關的．所以合成的綜合誤差（即系統測量準確度）
1.1 儀器設備的檢定誤差
1．i．1 高精度轉臺
對表中應該用修正值校正或全組合法來消除分度頭引起的誤差，以使系統測試誤差減小到要求范圍內。
1.1.2測長儀
對于正確度為5um以下的產品可用阿貝比長儀，其檢定誤差不大于1．5μm，對于正確度高于5μm的定尺．如用阿貝比長儀必須用修正值校正，可提高到0.9，如檢測滑尺，其細分誤差的節距一般為9mn．故可選擇任 2mh，其精度不大于0.3μm的位置進行測量，對于高于3krm的零級品定尺應該用激光干涉儀。
1．1.3相敏電壓表（即指零儀）
當最小量程為0.1 um／30格，其分辨率17�！盀�3.3×1 0 - 3mv．假設旋轉式感應同步器極對數p= 360．****輸電壓時，會引起****角誤這對于正確度為2的產品．顯然太大了，若縮小1 0倍（采用低噪聲放大器）即將分辨率提高10倍，使其引起的角誤差縮小為0. 06。假設直線式感應同步器的節距為2mm，****輸出電壓vr，則d.12約為0。26um（�。�5.12=0。3um。基本上可以滿足要求。
i．i．4感應分壓箱
圖l和圖2中測試細分誤差時通常用二臺國產型組成正切函數（旋轉式）或正余弦函數（直線式），在lokhz時．實則檢定誤差為2×l0-5，當p= 360時，會引起****角誤差，d.13約為0.014(旋轉式)。對直線式感應同步器．當節距為2mm時．會引起****位移誤差d_13約為0．o1pm，說明用感應分壓箱引起的誤差可忽略不計。
1．1．5 數顯表
根據數顯表的結構原理可以替代圖1和圖2中的信號發生器、感應分壓箱、隔離變壓器和相敏指零儀，萁本身的精度取決于內部的函數變壓器的 |
